2016-12-11
激埃特光電生產(chǎn)的大尺寸紫外光學(xué)薄膜器件主要用于紫外曝光機(jī)系統(tǒng)中，其中紫外反射鏡采用線膨脹系數(shù)為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底，內(nèi)表面精密數(shù)控加工成形，鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜
微米是長度單位，符號 [micron]，讀作[mi
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